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電子工業(yè)用超純水解決方案
發(fā)布時(shí)間:2013-06-18        

電子工業(yè)用超純水設備概述
  電子工業(yè)用超純水設備半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線(xiàn)路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規模、超大規模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線(xiàn)寬越窄,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質(zhì)。


 制取電子工業(yè)用超純水的工藝流程

       電子工業(yè)制備超純水設備的工藝大致分成以下3種: 
  1、采用離子交換樹(shù)脂制備電子工業(yè)超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→中間水箱→陽(yáng)床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過(guò)濾器→用水點(diǎn)
  2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過(guò)濾器→用水點(diǎn)
  3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過(guò)濾器→用水點(diǎn)


 電子工業(yè)超純水設備特點(diǎn)
  電子工業(yè)超超純水設備通常由多介質(zhì)過(guò)濾器,活性碳過(guò)濾器,鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線(xiàn)水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無(wú)人值守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶(hù)要求相統一的方法,使該設備與其它同類(lèi)產(chǎn)品相比較,具有更高的性?xún)r(jià)比和設備可靠性。


 電子工業(yè)用超純水的應用領(lǐng)域
  1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水; 
  2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水; 
  3、實(shí)驗室和中試車(chē)間用超純水; 
  4、汽車(chē)、家電表面拋光處理; 
  5、光電子產(chǎn)品; 
  6、其他高科技精微產(chǎn)品。

 

 


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