1、前期處理（水質達2MΩ-cm）
超純水設備主要包括預處理單元和反滲透（RO）單元，由于預處理后的水將通過反滲透進行再一步的凈化，所以一定要盡量去除對反滲透膜有影響的雜質；主要包括大顆粒物質、余氯以及鈣離子鎂離子。在此要說明的一點是必須要根據進水水質的差異針對性地配備不同的處理單元，多數純水儀生產廠家并不能很好幫助客戶解決這個問題，這會導致后續的純化無法達到理想結果并縮短反滲透膜等儀器主要部件的壽命。
反滲透是使用一個高壓泵對高濃度溶液提供比滲透壓差大的壓力，水分子將被迫通過半透膜到低濃度的一邊，反滲透可以濾除90%-99%的包括無機離子在內的絕大多數污染物，因為它出眾的純化效率，反滲透設備是水純化系統的一個非常有效的技術，因為反滲透能去除大部分的污物，所以它經常被用作為前道處理手段，能顯著地延長去離子交換柱的使用時間。鑒于反滲透在水質純化過程中是非常關鍵并且反滲透膜的更換價格較高，我們建議用戶一定要選擇對反滲透膜有保護功能的超純水系統。
2、深度處理（水質達15MΩ-cm以上）
離子交換設備即是水中的正離子與離子交換樹脂中的H+ 離子交換，水中的負離子與離子交換樹脂上的OH-離子交換，從而達到純化水的目的，通過離子交換去除離子，理論上幾乎能除去所有的離子物質，在25℃時，出水電阻率達到18.2MΩ-cm。經離子交換出水水質的高低主要取決于離子交換樹脂的質量和交換柱內水與樹脂的交換效率。
3、后續加強水質穩定處理
純水設備主要根據客戶的特殊要求生產出低有機物型、低熱源型等的超純水，針對不同要求有多種處理方式，如超濾過濾法用于去除熱源，雙波長紫外氧化法用于降低水中總有機碳（TOC），微濾去除細菌等。超濾（UF）薄膜則是一個分子篩，它以尺寸為基準，讓溶液通過極細微的濾膜，以達到分離溶液中不同大小分子的目的，可將超純水中的熱源含量降至0.001EU/ml以下。雙波長紫外氧化法可利用光氧化有機化合物，將超純水中的總有機碳濃度降低至5ppb以下。
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